การใช้ซิลิกอนคาร์ไบด์กับแผ่นเจียร

การใช้ซิลิกอนคาร์ไบด์กับแผ่น
เจียรจานเจียร แผ่นเจียรเป็นอุปกรณ์ในกระบวนการที่สำคัญสำหรับการผลิตซิลิคอนเวเฟอร์สำหรับ VLSI ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ แผ่นเจียรที่ทำจากเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์สามารถกราวด์และขัดด้วยความเร็วสูงได้ เนื่องจากแผ่นเจียรมีความแข็งสูงและมีค่าสัมประสิทธิ์การสึกหรอและการขยายตัวทางความร้อนต่ำของซิลิคอนเวเฟอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา ขนาดของแผ่นเวเฟอร์ซิลิกอนมีขนาดใหญ่ขึ้นเรื่อยๆ ซึ่งทำให้มีข้อกำหนดที่สูงขึ้นในด้านคุณภาพและประสิทธิภาพของการเจียรแผ่นซิลิคอนเวเฟอร์ การใช้แผ่นเจียรเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์จะช่วยปรับปรุงคุณภาพและประสิทธิภาพของการเจียรแผ่นเวเฟอร์ซิลิกอนอย่างมาก